8713 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8713 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶(hù)可以在兩者之間進(jìn)行切換。與上級(jí)設(shè)備的通信*采用數(shù)字形式，這樣一來(lái)，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。

標(biāo)稱(chēng)流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測(cè)量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
通過(guò) RS485 進(jìn)行數(shù)字通信
緊湊型版本
8713型控制與工藝技術(shù)中大多數(shù)應(yīng)用相關(guān)的氣體質(zhì)量流量。測(cè)量值將在

根據(jù)

信號(hào)；如果存在控制差，則將控制值輸出到

比例閥將使用PI控制算法進(jìn)行修改。由于

事實(shí)上，傳感器直接與氣體接觸，響應(yīng)非常快

達(dá)到MFC的時(shí)間。這樣，質(zhì)量流可以保持在

可以遵循固定值或預(yù)定義的配置文件，而不管

系統(tǒng)中的壓力變化或其他變化。8713型可選擇校準(zhǔn)兩種不同的氣體，用戶(hù)可以在

這兩種氣體。作為控制元件的直接作用比例閥

保證了MFC的高靈敏度和良好的控制特性。

該儀器與主設(shè)備進(jìn)行數(shù)字通信，無(wú)需進(jìn)一步的A/D

需要轉(zhuǎn)換?？梢允褂肕assFlowCommunicator軟件

用于參數(shù)化和診斷。

直接流量測(cè)量

MEMS.標(biāo)稱(chēng)流量技術(shù)

從10mln/min到80ln/min（N2）

?高精度和重復(fù)性

?沉降時(shí)間短

?緊湊的設(shè)計(jì)和數(shù)字通信

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱(chēng)流量范圍1）

（Q標(biāo)稱(chēng)）

10mln/min2）至80ln/min（氮?dú)猓?/p>

見(jiàn)表2

調(diào)低比為1:50，可根據(jù)要求提高調(diào)低比

工作氣體中性，無(wú)污染氣體，

應(yīng)要求

校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣

 大工作壓力

（入口壓力）

10巴（145磅/平方英寸）

取決于閥門(mén)的孔

氣體溫度-10至+70°C（-10至+60°C，含氧）

環(huán)境溫度-10至+50°C3）

準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（預(yù)熱1分鐘后）

重復(fù)性±0.1%F.S。

穩(wěn)定時(shí)間（t95%）<300毫秒

材料

身體

住房

海豹

鋁或不銹鋼

金屬

FKM、EPDM

端口連接NPT?，G?，旋入式配件或底座，

其他應(yīng)要求

控制閥

閥孔板

k

VS值

常閉式

0.05至4.0毫米

0.00006至0.32 m3/h

電氣。連接插頭D-Sub 9針

24 V直流電源

電壓公差±10%

殘余波紋<2%

功耗3.5-11.5瓦

（取決于使用的控制閥）

通過(guò)RS485（半雙工或全雙工）進(jìn)行數(shù)字通信，

RS422

防護(hù)等級(jí)IP40

尺寸[mm]見(jiàn)圖紙第5-6頁(yè)

總重量約500 g（鋁體）

水平或垂直安裝

發(fā)光二極管

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

電源指示，

極限與誤差

二進(jìn)制輸入

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)諧

二進(jìn)制輸出

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

一個(gè)繼電器輸出：

1限制（未達(dá)到設(shè)定值）

 大負(fù)載：25V，1A，25VA

1） 標(biāo)稱(chēng)流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè)

額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。

2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。

或者，指數(shù)S指1.013巴和20°C

3） 使用內(nèi)部5W閥門(mén)時(shí)： 高40°C
實(shí)際流量由傳感器檢測(cè)。這是根據(jù)

其優(yōu)點(diǎn)是在不需要對(duì)所需壓力或溫度進(jìn)行任何修正的情況下輸送質(zhì)量流量的原理。

總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到一個(gè)小的，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的

旁路通道，確保層流條件。傳感器元件是

芯片浸沒(méi)在這個(gè)通道的壁上。芯片包含一個(gè)加熱電阻器

以及兩個(gè)溫度傳感器（熱電堆），它們對(duì)稱(chēng)地布置在加熱器的上下游。熱電堆的壓差

是通過(guò)該旁通通道的質(zhì)量流量的測(cè)量值。校準(zhǔn)

程序?qū)崿F(xiàn)傳感器信號(hào)對(duì)總流量的為一分配

通過(guò)設(shè)備的速率。