8712 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8712 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，也提供現(xiàn)場(chǎng)總線。8712 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。憑借良好的 IP 防護(hù)等級(jí)，使得該款質(zhì)量流量控制器尤其適合惡劣環(huán)境中的應(yīng)用。

標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測(cè)量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
防護(hù)等級(jí) IP65
選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口
8712型質(zhì)量流量控制器（MFC）

適用于調(diào)節(jié)

氣體流動(dòng)范圍大。熱的

MEMS傳感器直接位于氣體中

流，因此響應(yīng)時(shí)間非常快。直接作用的比例

Bürkert閥門保證了高靈敏度。集成的PI控制器保證了MFC的優(yōu)異控制特性。

8712型可選擇校準(zhǔn)

兩種不同的氣體，用戶可以切換

在這兩種氣體之間。作為電氣設(shè)備

模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)和

現(xiàn)場(chǎng)總線可用。

8712型質(zhì)量流量控制器適用于

各種應(yīng)用，如燃燒器控制，

熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)器、燃料電池技術(shù)或試驗(yàn)臺(tái)。

此MFC是專門為在

高防護(hù)等級(jí)，環(huán)境惡劣。

8712型可與…

?標(biāo)稱流量范圍為0.010 lN/min

至80 lN/min

?高精度和重復(fù)性

?沉降時(shí)間非常快

?防護(hù)等級(jí)IP65

?可選：現(xiàn)場(chǎng)總線接口

1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè)

額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。

2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。

另外，還有一個(gè)指數(shù)S，指的是1.013巴和20°C。

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱流量范圍1）（Qnom）0.01 mlN/min2）至80 lN/min（N2）

調(diào)節(jié)比為1:50，可根據(jù)要求提供更寬的量程

工作氣體中性、無污染氣體，可根據(jù)要求提供其他氣體

校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有校正功能的空氣

 大工作壓力

（入口壓力）

 高10 bar（145 psi），

取決于閥門的孔

氣體溫度-10…+70°C（-10…+60°C，含氧）

環(huán)境溫度-10…+50°C

準(zhǔn)確度

（預(yù)熱1分鐘后）

±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（o.R.：讀數(shù)；F.S.：滿量程）

重復(fù)性±0.1%F.S。

穩(wěn)定時(shí)間（t95%）<300毫秒

材料

身體

住房

海豹

不銹鋼

PC（聚碳酸酯）

FKM、EPDM（其他按要求提供）

端口連接G?“，NPT?”或壓縮配件

控制閥

閥孔板

kVS值

常閉式

0.05…4毫米

0.00006…0.32立方米/小時(shí)

電氣。連接

另外，現(xiàn)場(chǎng)總線：

M16圓形插座，8針

插座D-Sub HD15，15針

使用PROFIBUS-DP：

套筒M12 5針（適用于IP65）或

帶CANopen的D-Sub 9銷：

插頭M12 5針（適用于IP65）或D-Sub 9針

工作電壓24 V DC

電壓公差±10%

殘余波紋<2%

功耗3.5…14 W（取決于機(jī)型）
實(shí)際流量由傳感器檢測(cè)。這是根據(jù)熱學(xué)原理來操作的

提供與壓力和溫度無關(guān)的質(zhì)量流的優(yōu)點(diǎn)。

總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到

小型的，專門設(shè)計(jì)的旁路通道

確保層流條件。

傳感器元件是一個(gè)嵌在墻上的芯片

這個(gè)流道的。芯片，由MEMS制造

技術(shù)，包括一個(gè)加熱電阻器和兩個(gè)溫度傳感器（熱電堆）

加熱器上下游對(duì)稱。

熱電堆的壓差是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測(cè)量值。這個(gè)

校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)維一分配

傳感器信號(hào)到通過

設(shè)備。

技術(shù)數(shù)據(jù)（續(xù)）

設(shè)定點(diǎn)（信號(hào)設(shè)置）

饋電阻抗

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

>20 k?（電壓）

<300?（電流）

輸出信號(hào)（信號(hào)輸出）

 大電流，伏特。輸出

 大負(fù)載，電流輸出

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

10毫安

600?

數(shù)字通信

可能通過適配器：

RS232，Modbus RTU（通過RS接口）

RS485、RS422或USB

（見第3頁附件表）

現(xiàn)場(chǎng)總線選項(xiàng)PROFIBUS-DP，CANopen

（D-Sub HD15用帶現(xiàn)場(chǎng)總線的密封板覆蓋

MFC公司）

保護(hù)類型

（帶連接電纜）

防護(hù)等級(jí)IP65

尺寸[mm]（無配件）見第6-8頁圖紙

總重量1200 g（閥門內(nèi)部）

安裝位置水平或垂直

發(fā)光二極管

（默認(rèn)，其他功能可編程）

指示

1動(dòng)力，3。限制

2通信4。錯(cuò)誤

二進(jìn)制輸入

（默認(rèn)，其他功能可編程）

三

1啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)諧

2未分配，

校準(zhǔn)時(shí)在氣體之間切換。兩種氣體

三。未分配

二進(jìn)制輸出

（默認(rèn)，其他功能可編程）

兩個(gè)繼電器輸出

1限制（無法達(dá)到期望值）

2錯(cuò)誤（例如傳感器故障）

負(fù)載能力： 大60V，1A，60VA

技術(shù)數(shù)據(jù)

為了正確選擇MFC內(nèi)的致動(dòng)器孔，不僅

所需 大流量Qnom，也可直接取壓力值

在此流速下的MFC（p1，p2）前后Qnom應(yīng)已知。

總的來說，這些壓力與總進(jìn)口和

整個(gè)工廠的出口壓力，因?yàn)橥ǔＳ蓄~外的

存在流量電阻器（管道、附加切斷閥、噴嘴等）

控制器前后。

請(qǐng)使用第9頁的報(bào)價(jià)邀請(qǐng)函表來說明

MFC前后的壓力。如果這些是未知的

或無法進(jìn)行測(cè)量，則應(yīng)通過

考慮到流量電阻器上的近似壓降

在MFC之后，分別以Qnom的流速。

此外，請(qǐng)注明可能遇到的 大入口壓力p1 max。需要這些數(shù)據(jù)以確保致動(dòng)器能夠提供

在所有操作模式下關(guān)閉緊密功能。