8713 型質(zhì)量流量控制器 1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè) 額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。 2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。 或者，指數(shù)S指1.013巴和20°C 3） 使用內(nèi)部5W閥門時(shí)： 高40°C
實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù) 其優(yōu)點(diǎn)是在不需要對所需壓力或溫度進(jìn)行任何修正的情況下輸送質(zhì)量流量的原理。 總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到一個(gè)小的，專門設(shè)計(jì)的 旁路通道，確保層流條件。傳感器元件是 芯片浸沒在這個(gè)通道的壁上。芯片包含一個(gè)加熱電阻器 以及兩個(gè)溫度傳感器（熱電堆），它們對稱地布置在加熱器的上下游。熱電堆的壓差 是通過該旁通通道的質(zhì)量流量的測量值。校準(zhǔn) 程序?qū)崿F(xiàn)傳感器信號對總流量的為一分配 通過設(shè)備的速率。 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8713 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。與上級設(shè)備的通信*采用數(shù)字形式，這樣一來，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺。 標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
通過 RS485 進(jìn)行數(shù)字通信
緊湊型版本
8713型控制與工藝技術(shù)中大多數(shù)應(yīng)用相關(guān)的氣體質(zhì)量流量。測量值將在 根據(jù) 信號；如果存在控制差，則將控制值輸出到 比例閥將使用PI控制算法進(jìn)行修改。由于 事實(shí)上，傳感器直接與氣體接觸，響應(yīng)非常快 達(dá)到MFC的時(shí)間。這樣，質(zhì)量流可以保持在 可以遵循固定值或預(yù)定義的配置文件，而不管 系統(tǒng)中的壓力變化或其他變化。8713型可選擇校準(zhǔn)兩種不同的氣體，用戶可以在 這兩種氣體。作為控制元件的直接作用比例閥 保證了MFC的高靈敏度和良好的控制特性。 該儀器與主設(shè)備進(jìn)行數(shù)字通信，無需進(jìn)一步的A/D 需要轉(zhuǎn)換。可以使用MassFlowCommunicator軟件 用于參數(shù)化和診斷。 直接流量測量 MEMS.標(biāo)稱流量技術(shù) 從10mln/min到80ln/min（N2） ?高精度和重復(fù)性 ?沉降時(shí)間短 ?緊湊的設(shè)計(jì)和數(shù)字通信 技術(shù)數(shù)據(jù) 標(biāo)稱流量范圍1） （Q標(biāo)稱） 10mln/min2）至80ln/min（氮?dú)猓?/p> 見表2 調(diào)低比為1:50，可根據(jù)要求提高調(diào)低比 工作氣體中性，無污染氣體， 應(yīng)要求 校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣 大工作壓力 （入口壓力） 10巴（145磅/平方英寸） 取決于閥門的孔 氣體溫度-10至+70°C（-10至+60°C，含氧） 環(huán)境溫度-10至+50°C3） 準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。 （預(yù)熱1分鐘后） 重復(fù)性±0.1%F.S。 穩(wěn)定時(shí)間（t95%）<300毫秒 材料 身體 住房 海豹 鋁或不銹鋼 金屬 FKM、EPDM 端口連接NPT?，G?，旋入式配件或底座， 其他應(yīng)要求 控制閥 閥孔板 k VS值 常閉式 0.05至4.0毫米 0.00006至0.32 m3/h 電氣。連接插頭D-Sub 9針 24 V直流電源 電壓公差±10% 殘余波紋<2% 功耗3.5-11.5瓦 （取決于使用的控制閥） 通過RS485（半雙工或全雙工）進(jìn)行數(shù)字通信， RS422 防護(hù)等級IP40 尺寸[mm]見圖紙第5-6頁 總重量約500 g（鋁體） 水平或垂直安裝 發(fā)光二極管 （默認(rèn)功能， 其他可編程功能） 電源指示， 極限與誤差 二進(jìn)制輸入 （默認(rèn)功能， 其他可編程功能） 啟動自動調(diào)諧 二進(jìn)制輸出 （默認(rèn)功能， 其他可編程功能） 一個(gè)繼電器輸出： 1限制（未達(dá)到設(shè)定值） 大負(fù)載：25V，1A，25VA 1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè) 額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。 2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。 或者，指數(shù)S指1.013巴和20°C 3） 使用內(nèi)部5W閥門時(shí)： 高40°C
實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù) 其優(yōu)點(diǎn)是在不需要對所需壓力或溫度進(jìn)行任何修正的情況下輸送質(zhì)量流量的原理。 總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到一個(gè)小的，專門設(shè)計(jì)的 旁路通道，確保層流條件。傳感器元件是 芯片浸沒在這個(gè)通道的壁上。芯片包含一個(gè)加熱電阻器 以及兩個(gè)溫度傳感器（熱電堆），它們對稱地布置在加熱器的上下游。熱電堆的壓差 是通過該旁通通道的質(zhì)量流量的測量值。校準(zhǔn) 程序?qū)崿F(xiàn)傳感器信號對總流量的為一分配 通過設(shè)備的速率。 
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