BURKERT841型氣體流量控制器

    BURKERT841型氣體流量控制器必要時(shí)可以設(shè)置為 MFC 或者 MFM，且規(guī)定用于 büS 或者 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以 CAN 物理層為基礎(chǔ)，Bürkert 特別為涉及多個(gè)控制回路（通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場總線加以驅(qū)動）的應(yīng)用而對其進(jìn)行了研發(fā)。型號為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩?büS 中，并驅(qū)動所有相連的電子設(shè)備。 設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎(chǔ)設(shè)施中。 BURKERT841型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn)，使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

技術(shù)數(shù)據(jù)：
額定流量范圍：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
調(diào)低比例：50：1，可選100：1
工作介質(zhì)：中性，無污染氣體，其他要求
校準(zhǔn)介質(zhì)：使用氣體或空氣
大操作壓力（超壓至大氣壓力）：10巴（145 psi），MFC大。 壓力取決于閥的孔口
介質(zhì)溫度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧氣）
環(huán)境溫度：-10至+50°C（根據(jù)要求可提供更高的溫度）
測量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分鐘預(yù)熱時(shí)間后）
重復(fù)性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/響應(yīng)（MFM）時(shí)間（t95％）：<300 ms

工作原理：
    實(shí)際流量由傳感器檢測。這根據(jù)熱原理工作，該原理具有提供獨(dú)立于壓力和溫度的質(zhì)量流量的優(yōu)點(diǎn)。總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到小的專門設(shè)計(jì)的旁路通道中，以確保層流條件。傳感器元件是 芯片浸入該流動通道的壁中。 采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的芯片包含一個(gè)加熱電阻器和兩個(gè)對稱布置在加熱器上游和下游的溫度傳感器（熱電堆）。 熱電堆的差分電壓是通過流量傳感器的質(zhì)量流率的度量。 校準(zhǔn)過程實(shí)現(xiàn)了傳感器信號與通過設(shè)備的總流量的分配。